請教擴散泵抽不上真空-常見問題

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常見問題

請教擴散泵抽不上真空

排查方法：
1.懷疑擴散泵或主閥氣缸有泄漏；
2.爐腔有泄漏；我們主閥來回切換，后是發現真空爐爐腔有個位置有泄漏。
3.應該是泵體本身的原因，是不是密封圈壞了。

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